Lämmityspalvelumme tarkoituksena on parantaa puolijohdeasiakkaidemme keskeisten laitteiden ja valmistusprosessien lämpötehokkuutta, vahvistaa kotimaisen puolijohdeteollisuuden ketjun tutkimusta ja kehitystä, vähentää riippuvuutta ulkopuolisista toimitusketjuista erityisesti avainmateriaalien, laitteiden ja teknologioiden hankinnassa sekä edistää kotimaisen puolijohdeteollisuuden kehitystä.
Lämmityselementit ovat seuraavat:
1. Kiillelämpölevy:
2. Puolijohdelämmityssauva: Sitä käytetään erilaisiin kammiolämmityksiin, erilaisiin kiekkojen käsittelyyn ja erilaisiin kaasunkuljetuslämmityksiin
3. Semiconductor lämmitysrengas: Sitä sovelletaan korkean radiotaajuuden ympäristöön.
